檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Sheam-Chyun Lin".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="氣流夾層"
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由於目前LCD面板的需求量越來越大，為了提升產品的良率且降低製造成本，於是本文以垂直層流式面板儲存櫃為研究課題，深入探討其中之氣流夾層區域，並著重於內部流場與污染粒子排除的分析；期望以不變動內部元件…
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本文以半導體製程設備中之微環境為主要研究方向，深入探討晶 圓廠中主要生產設備--直立式爐管之晶舟與晶圓裝載區域，著重於裝 載區域內部流場與污染粒子分佈的探討，期望能在設計無塵室之微環 境時，藉助電腦…